由于氣體分為單質(zhì)氣體、多元?dú)怏w、混合氣體和有機(jī)化合物氣體等,所以可將組成氣體的物質(zhì)(或元素)稱為該氣體成分。因此氣體純度的含意可理解為:除本氣體成份外,所含其它物質(zhì)的多少。氣體純度的提法有多種,如普通純、高純氣體、電子純、特純等,隨著超大規(guī)模集成電路(VLSI)和特大規(guī)模集成電路(ULSI)的發(fā)展,又有VLSI和ULSI級純的超凈氣體。這些提法都不十分確切,只是粗略的講了氣體純度的高低,沒有真正說明氣體純度的大小。







工業(yè)氣體是一種瓶裝壓縮液態(tài)氣體,在常溫常壓下呈氣態(tài),氣體種類有繁多,主要用于各種工業(yè)制造方面。氣體產(chǎn)品作為現(xiàn)代工業(yè)重要的基礎(chǔ)原料,應(yīng)用范圍十分廣泛,在冶金、鋼鐵、石油、化工、機(jī)械、電子、玻璃、陶瓷、建材、建筑、食品加工等部門,均使用大量的常用氣體或特種氣體。高純氣體(PurifiedGases)氣體工業(yè)名詞,通常指利用現(xiàn)代提純技術(shù)能達(dá)到的某個等級純度的氣體。對于不同類別的氣體,純度指標(biāo)不同。

氮是一種中性氣體。在非活化狀態(tài)下,氮可用作保護(hù)加熱,防止鋼鐵的氧化、脫碳,因而廣泛地用于光亮淬火、光亮退火、光亮回火等熱處理工藝中。在真空熱處理時,氮?dú)獬W鳛槔鋮s介質(zhì)使用;充氮加壓油淬時,氮?dú)饧瓤杀Wo(hù)真空爐的電熱元件,又可通過調(diào)節(jié)氮?dú)鈮毫Γ岣咪摷拇阌残?。在一定電壓和低真空狀態(tài)下,氮會電離,可進(jìn)行離子滲氮和離子氮碳共滲,在滲碳、滲氮時,常用氮?dú)膺M(jìn)行爐內(nèi)吹洗、排氣,爐門的氣簾密封,滲碳后的防氧化冷卻。
